一、等離子體的產(chǎn)生

等離子清洗機(jī)通常采用射頻電源（RF）或微波電源來(lái)產(chǎn)生等離子體。在一個(gè)密封的腔體內(nèi)，通入適量的工作氣體，如氧氣、氮?dú)?、氬氣等。?dāng)電源開(kāi)啟后，會(huì)在腔體內(nèi)形成高頻電磁場(chǎng)。在高頻電磁場(chǎng)的作用下，氣體分子中的電子獲得能量，開(kāi)始加速運(yùn)動(dòng)，并與其他氣體分子發(fā)生碰撞。這些碰撞會(huì)使氣體分子電離，形成由電子、離子和中性粒子組成的等離子體。

二、等離子體與物體表面的相互作用

物理作用：等離子體中的離子在電場(chǎng)作用下會(huì)獲得一定的動(dòng)能，以較高的速度撞擊物體表面。這種離子轟擊作用可以去除物體表面的污染物，如灰塵、油脂等，同時(shí)還能使物體表面的微觀結(jié)構(gòu)發(fā)生變化，增加表面粗糙度，提高表面的附著力和潤(rùn)濕性。

化學(xué)作用：等離子體中的活性粒子，如自由基、原子態(tài)氧等，具有很高的化學(xué)活性。它們會(huì)與物體表面的原子或分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成新的化合物。例如，在氧氣等離子體中，活性氧原子會(huì)與物體表面的碳?xì)浠衔锇l(fā)生氧化反應(yīng)，生成二氧化碳和水等揮發(fā)性物質(zhì)，從而達(dá)到去除污染物的目的。同時(shí)，通過(guò)選擇不同的工作氣體，可以在物體表面引入不同的化學(xué)基團(tuán)，實(shí)現(xiàn)對(duì)物體表面化學(xué)性質(zhì)的改性。